Preface
全球显示面板产业规模在极速扩大,目前主流的平面显示技术主要包括LCD(液晶显示技术)、OLED(有机发光二极管显示技术)、QLED(量子点发光二极管)、Mini LED(微小发光二极管显示技术)以及Micro LED(微米发光二极管显示技术)。
显示平板的制造流程较为复杂,可分为Array制程、Cell制程及Module制程三大阶段,复杂的工艺过程中不可避免地产生各种表面缺陷,包括灰尘、脏污、划痕等,这些缺陷的存在可能对显示面板的功能和外观造成影响。
面板边缘缺陷明暗场检测
检测需求
检测需求:对面板的芯片和基板封装后进行边缘缺陷检测
对焦精度:<1μm
跟焦速度:<30ms
检测方式:线激光对焦光学系统明暗场检测
检测原理
通过环形光源的明暗场照明方式,明场照明模式,通过垂直均匀光照呈现样本形态,检测面板外观良好;通过暗场照明方式激发散射光成像,显著增强样品微小颗粒与表面细节对比度,适用于裂纹、划痕等缺陷。
图:慕藤光红外对焦成像解决方案原理
视觉方案
物镜:5X物镜
相机:彩色相机
光源:明暗场环形光源
扫描速度:120mm/s
图:慕藤光激光自动对焦明暗场解决方案-面板边缘缺陷检测应用
检测效果
图:面板边缘外弧-暗场检测测效果图
图:面板孔区裂痕-明场检测效果图
Mini LED芯片缺陷检测
检测需求
检测需求:识别并检测缺陷的Mini LED芯片
样品:Mini LED芯片
离焦距离:100-200um
对焦时间:1-1.5s
检测原理
慕藤光图像对焦检测是建立在图像AI算法模式上的调焦方法,能够对镜头与传感器采集的图像进行实时分析和处理,进而控制运动轴进行移动完成聚焦,覆盖±150um至±1mm大搜索范围,实现大范围内的快速对焦检测。
图:慕藤光图像对焦检测原理
视觉方案
相机:CameraLink工业相机
镜头:MF200-C-S
物镜:MA-10F (20X)
图像对焦传感器:MIAF-500
光源:MV-IW
图像格式:2432*2048
检测效果
图:Mini LED晶圆缺陷芯片检测
OLED柔性面板均匀度修复检测
检测需求
OLED柔性面板生产中,屏幕高度不一致时需要对焦
检测原理
针对面板屏幕高度存在差异的情况,依据图像对焦原理中对物体距离建模及成像焦点计算机制,慕藤光图像对焦传感器MIAF-500可在1-2s内对传感器采集的图像进行实时分析,快速响应,解决±150um范围的精准调节对焦,进而精准检测屏幕显示均匀度。
视觉方案
图:OLED面板均匀度修复-慕藤光图像对焦视觉方案
检测效果
图:OLED柔性面板均匀度检测图
产品参数
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