产品特性1、上下双视野成像均匀性 ≥90%2、上下视野 XY 轴向对位误差 ≤20μm3、双视野旋转偏差 ≤±0.02°4、双视野倾角误差 ≤0.1°5、模块化可换光源设计6、可搭配专用校准工装，方便现场标定与后期维护
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