首页>产品>定制/附件 > 远心系统C型结构应用
远心系统C型结构应用

远心系统C型结构应用

专为半导体高精度贴合对位研发,采用双侧对称双远心+超分辨无穷远共轭光学架构,C接口标准输出与定制化机械结构一体化设计。
实现大视场与亚微米级对位精度兼顾,适配晶圆、芯片、Mini/MicroLED、盖板玻璃等精密贴合的上下视觉同步对位与靶标识别。

核心特点

    双侧同心同焦极致对位基准
    双侧管镜与物镜组采用主动合轴与温度稳焦设计,全程无视差、无倍率漂移,确保上下贴合面成像基准完全一致。
    物镜独立调焦 靶标功能集成
    物镜搭载精密螺纹/凸轮调焦机构,调焦行程与锁紧稳定,支持不同厚度工件快速对焦;可内置十字线/对位靶标模块,实现Mark点、特征边、通孔的高精度识别与对准。
    倍率模块化组合灵活适配
    双侧光轴严格共线、焦面同步匹配,物镜支持连续精细调焦,管镜与物镜可按视野与分辨率需求自由组合不同倍率,实现大视场与亚微米级对位精度兼顾。
核心特点
产品列表